9月4日新闻，半导体装备要害零部件射频和等离子系统供应商上海励兆科技宣布 完成数万万元人民币Pre-A轮融资，并约请到前爱思强中国区总司理宋伟加入创业团队担任副总裁。 Monolith砺思资源、中芯聚源、临港科创投介入本轮投资。

励兆科技确立于2022年8月，位于上海市闵行区，是一家专注于半导体工艺装备领域的射频和等离子系统供应商。

励兆科技的首创团队来自海内外着名高校和研究机构，拥有多年先进半导体装备开发履历，跨越十年的射频电源系统研发和制造履历，在基础研究，产物开发，工艺应用和市场拓展等多个方面有着深挚的积累。公司首席科学家是上海交大副教授/博导，曾在美国顶级学府从事高频电力电子的研究。

公司副总裁宋伟是前爱思强中国区总司理，结业于北航。在加入励兆科技之前，曾先后在美国维利安(Varian)、美国应用质料(AMAT)、美国万机(MKS)、美国柯狄(Kateeva)和德国爱思强(AIXTRON)等多家西欧着名公司担任中国区总司理或销售总监等高管职位。

励兆科技的主要产物是等离子射频电源及其配套系统和远程等离子源(RPS)系统，而这些产物的基本作用就是在相关半导体工艺装备中发生等离子体并杀青相关种种工艺。针对这些手艺要求，励兆科技确立一年便开发出了13.56MHz系列和400KHz系列射频电源产物，部门要害性能参数已到达国际先进水平，好比功率可调精度在0.1瓦，脉冲频率从2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合独占MOFT调频功效(模子导向的自动调频手艺)，能实现亚毫秒量级的高速阻抗匹配，可以有用地知足多种工艺的需求，在海内率先为先进蚀刻和原子层沉积等工艺提供了可选方案。同时在远程等离子源(RPS)领域，公司正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺领域的产物，预计在年底可为要害客户送样测试。

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励兆科技首创人赵馗示意，励兆科技团队在射频、电力电子、控制和算法手艺上都具有较深积累和完整的结构。高频电力电子是射频手艺的一种，其人才在全球都异常稀缺，半导体射频电源要求兆赫兹级其余电力电子手艺。公司焦点成员从2012年便最先深耕这个领域的研究，是国际上为数不多的华人专家之一。

公司副总裁宋伟示意：“在半导体产业平安要求和现实市场需求的靠山下，射频等离子领域需要一只高质量高效率的科学家靠山团队来尽快突破海内手艺的天花板，挑战并最终逾越国际市场上的产业龙头。”因此，在产物开端开发乐成后，他便加入了励兆科技，期望以厚实的市场应用履历推动励兆的快速生长。

励兆团队示意，在现在庞大国际形势下，从基本上解决国产半导体装备的整体供应链平安问题刻不容缓。励兆科技的愿景是依托自身扎实的产业手艺靠山，缔造一门第界级的中国射频等离子解决方案企业。

Monolith砺思资源示意，射频电源是发生等离子体的焦点器件，高性能的大功率射频电源是国产化先进制程的需要装备。现在，射频电源险些完全依赖入口，亟需国产化。励兆科技是海内少有的国际领先的研发团队，同时又有深挚的上下游产业积累，对于攻克其中的手艺问题，顺遂商业化大有辅助。砺思看好射频电源偏向的国产化远景，信托励兆能成为未来行业标杆。